日本進口(kǒu)OKKSG大(dà)宮工業晶圓移載機OTS-15
簡要描(miáo)述：
日(rì)本(běn)進口OKKSG大宮(gōng)工(gōng)業(yè)晶圓(yuán)移載(zǎi)機OTS-15OTD-25OTD-35類型(xíng)表(biǎo)達式OTS-15OTS-15（獨立）OTD-25OTD-25（桌(zhuō)麵類(lèi)型）OTD-35OTD-35（桌麵(miàn)類(lèi)型(xíng)）步(bù)進數(shù)I. 舞(wǔ)台（盒式×1）II 階段（盒(hé)式(shì)× 1， 船× 1）III 階段（盒式× 2， 船(chuán)× 1）驅動(dòng)係統電(diàn)機驅動(dòng)（伺(sì)服）轉移(yí)格式1ca 異(yì)種盒間(jiān)移載1ca t
產品(pǐn)型號(hào)：OTD-25
產品時間：2025-05-21
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OTD-25
OTD-35
特點(diǎn)
粒(lì)子生成(chéng)預(yù)防
電(diàn)機(jī)驅(qū)動可防止顆粒(lì)生成。
*的晶圓(yuán)夾(jiā)頭結構
我(wǒ)們(mén)*的(dí)晶(jīng)圓(yuán)夾頭結(jié)構可(kě)抑製晶圓輸送(sòng)過(guò)程(chéng)中的(dí)晃(huǎng)動，確保(bǎo)轉(zhuǎn)移到(dào)石英(yīng)船(chuán)，並準確(què)，安(ān)全地運(yùn)輸(shū)重(zhòng)物(wù)，如化合物晶(jīng)圓
特(tè)點
粒子(zǐ)生成(chéng)預防
電機(jī)驅(qū)動可(kě)防止(zhǐ)顆(kē)粒(lì)生成。
*的(dí)晶(jīng)圓夾頭結構(gòu)
我(wǒ)們*的(dí)晶圓夾頭(tóu)結構可抑(yì)製(zhì)晶(jīng)圓(yuán)輸送過程(chéng)中的(dí)晃(huǎng)動(dòng)，確(què)保(bǎo)轉(zhuǎn)移到(dào)石(shí)英(yīng)船，並準確(què)，安全(quán)地運輸重物，如化合(hé)物晶(jīng)圓(yuán)
| 類型表(biǎo)達式 | OTS-15  （獨立） | OTD-25  （桌(zhuō)麵類型(xíng)） | OTD-35  （桌麵(miàn)類型） |
|---|---|---|---|
| 步進(jìn)數(shù) | I. 舞台(tái) （盒(hé)式(shì)×1） | II 階(jiē)段 （盒式(shì)× 1， 船× 1） | III 階段(duàn) （盒式× 2， 船(chuán)× 1） |
| 驅動(dòng)係(xì)統(tǒng) | 電(diàn)機驅動（伺服） | ||
| 轉(zhuǎn)移(yí)格(gé)式 | 1ca 異種盒間(jiān)移(yí)載(zǎi) | 1ca to 1bt 雙(shuāng)向移載 | 2ca to 1bt 雙(shuāng)向(xiàng)移載 |
| 轉移(yí) 斯(sī)皮(pí)德 | Min40秒(miǎo) + 盒(hé)式交換(huàn)時(shí)間(jiān) | Min50 秒(miǎo)（可調(tiáo)節） | Min90 秒（可調(tiáo)節(jié)） |
| 設(shè)備(bèi)尺寸 | W400×D510×H1187(㎜) | W433×D490×H625(㎜) | W629×D490×H625(㎜) |
| 安全機製 | 盒有無(wú)，晶片有(yǒu)無，過載(zǎi)檢測(cè)，異常(cháng)警報(bào)，緊急停(tíng)止 | ||
| 電(diàn)源(yuán) | AC200V（50/60Hz） | ||
日本進口(kǒu)OKKSG大(dà)宮工業晶圓移載機OTS-15
半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)和(hé)零(líng)件製造設備(bèi)
旋轉幹(gān)燥機(jī)它是一(yī)種通過旋轉產(chǎn)生(shēng)的離心(xīn)力(lì)和(hé)吸入(rù)氣流的作用來
幹燥晶(jīng)圓(yuán)上的(dí)水(shuǐ)滴和水(shuǐ)分的(dí)裝置(zhì)。
晶圓(yuán)移載(zǎi)機將晶(jīng)圓從載體(tǐ)或(huò)載(zǎi)體雙向傳(chuán)輸到
船的設(shè)備。
托架(jià)清(qīng)洗機(jī)晶圓載體(tǐ)和載(zǎi)體盒(hé)的(dí)
清(qīng)潔和(hé)幹燥(zào)設備。
晶(jīng)圓(yuán)安裝器具有(yǒu)層壓機和(hé)安(ān)裝(zhuāng)器兩(liǎng)種
功(gōng)能的膠帶貼片裝置。
BG 膠(jiāo)帶層(céng)壓機用於(yú)粘貼(tiē)用於表麵(miàn)保(bǎo)護的(dí)背磨
膠帶的自動設(shè)備。
磁帶(dài)刪除器(qì)使(shǐ)用剝(bāo)離膠帶剝離保(bǎo)護膜（如晶(jīng)圓(yuán)或(huò)貼(tiē)在基板(bǎn)上(shàng)的(dí) BG 膠(jiāo)帶）的(dí)設備。
紫外綫照(zhào)射機UV 固化膠帶/薄(báo)膜(mó)的紫(zǐ)外(wài)綫照(zhào)射和(hé)
固化(huà)設(shè)備(bèi)。
晶圓擴展(zhǎn)器它是一種晶圓(yuán)擴(kuò)展裝置，隻需輕輕一觸(chù)，即(jí)可嵌入夾持(chí)環(huán)並
切(qiē)割(gē)膠帶。